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低溫泵

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摘要

適于埋裝在地下,不會(huì)受電動(dòng)機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響,易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注頭,提高有效汽蝕余量。

產(chǎn)品介紹

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。


一般說來,低溫液體泵設(shè)備的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí),水的蒸氣壓已低于 帕。溫度為20K時(shí),除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于 帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器,低溫板為20K時(shí),泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。


適于埋裝在地下,不會(huì)受電動(dòng)機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響,易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注頭,提高有效汽蝕余量;立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣,使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置,故該泵也稱為立式筒型泵。

低溫泵

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